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使用油扩散泵系统进行质谱分析以获得极高的真空度

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-09 1:23:56 * 浏览: 2
兰州物理研究所在对扩散泵和机械泵回流机理的深入研究基础上,为减少泵流体回流做了大量工作。例如,扩散泵采用“油帽,挡板和井”的常规方法,将泵的极限压力从10-5Pa增加到10-8Pa,并将回流流量降低到。高效液氮冷冻钛升华捕集阱的使用进一步减少了泵流体的回流,并实现了6倍和10-11Pa的超清洁,超高真空环境。